熱式質量流量計是利用流體流過外熱源加熱的管道時產生的溫度場變化來測量流體質量流量，或利用加熱流體時流體溫度上升某一值所需的能量與流體質量之間的關系來測量流體質量流量的一種流量儀表。該產品是傳統的測量技術的理想替代品,適用于過程控制、損耗和供給監控、檢測泄露或監測輸送網管。
熱式質量流量計通過測量氣體流經流量計內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量，即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。
熱式質量流量計壓力損失小，只需與流量傳感器配套使用，形成固定流量計，工作過程中損壞或故障少，是實用流量計，可測量低流量或小流量，管道污垢或雜質無關，熱質量流量計能準確測量流量，壓力損失不大，方便快捷。當使用熱質流量計測量氣體時，氣體的比熱容量會隨著壓力溫度的變化而變化，但所使用的溫度壓力附近的小變化可視為常數。
